高分辨率光譜儀常用的應用主要有以下各個方面。
1.發射光譜測量
發射光譜測量可以用不同的實驗布局和波長范圍來實現,還要用到余弦校正器或積分球。發射光譜測量可以在紫外/可見和可見/近紅外波長范圍內測量。
對于發射光譜的測量,光譜儀可以配置成波長范圍從200-400nm或350-1100nm,或組合起來實現紫外/可見200-1100nm,并可以在定標實驗室里進行輻射定標。定標后的實驗布局不能改變,如光纖和勻光器都不能更改。
為了使實驗布局更靈活,用可見/近紅外定標光源或紫外/可見/近紅外定標光源可以在用戶現場進行定標。定標并載入輻射定標數據。
2.拉曼光譜測量
拉曼光譜儀系統是一臺高度集成化而且價格很低的系統,適用于需要拉曼測量的應用領域。拉曼系統包括半導體激光器,光纖光譜儀,和多種可選光纖探頭和Raman應用軟件。
拉曼光譜儀系統有量個基本型:1。低成本非冷卻型,分辨率25cm-1。2。高性能TE致冷型,分辨率10cm-1。
拉曼光譜儀系統特別適用于反應過程監控、產品識別、遙感,水溶液、凝膠體和其它介質中高散射粒子的判定。拉曼光譜儀系統的光源也可以選擇50mW或100mW的532nm固體綠光激光器、氬離子激光器或HeNe激光器。
3.顏色測量
一般來說,物體和濃稠液體的顏色測量可以使用不同的實驗布局,比如使用反射型光纖探頭或積分球。在該測量中,可以使用波長范圍在380到780nm,分辨率(FWHM)為5nm的光譜儀;此外,還需要白光連續光源和白色反射瓦。對于測量紡織品、紙張、水果、葡萄酒、鳥類羽毛顏色等不同的應用可以使用不同的光纖探頭。
4.LED測量
簡單而且迅速地測量LED的整個光通量的方法就是使用一個積分球,并把它連接到一個光譜儀上。該系統可以用鹵素燈進行定標,然后用軟件從測量到的光譜分布計算出相關參數,并實現輻射量的測量。所測光源的光譜發光強度還可以用μW/cm2/nm來計算、顯示并存儲。另外的窗口還可以顯示大約10個參數:輻射量μW/cm2, μJ/cm2, μW或μJ;光通量lux或lumen,色軸X, Y, Z, x, y, z, u, v和色溫。
5.氧濃度傳感器
氧濃度傳感器包括一個光纖熒光探頭,探頭表面鍍有膜層,并使用一個藍光LED作為激發源,還有一臺高靈敏度的微型光譜儀。該傳感器應用熒光技術測量氧的含量,樣品產生的熒光反射回探測器上。當氣態或液態樣品中的氧擴散到探頭的膜層上時,就會使熒光猝滅,猝滅的程度與樣品中的氧的濃度是相關的。
6.真空室鍍膜過程監控
光纖光譜儀為真空室內鍍膜過程的監控提供了一種靈活的測量手段,它可以方便地把光引入并引出真空室或潔凈工作倉,同時選擇鍍膜過程分析所需要測量的參數。在實際的在線生產中,可以在工作倉中放置幾個探頭來檢測整個生產過程。圖示為真空室鍍膜過程監控的典型實驗布局。在這里一個反射型光纖探頭用來在線監測鍍膜過程。氘-鹵素燈發出的光被導入真空室并傳導到反射探頭上,反射光由反射探頭傳導到光譜儀中;也可以再增加一個通道作為參考測量來補償光源的波動。
7.薄膜厚度測量
膜厚測量系統基于白光干涉測量原理,可以測量的膜層厚度10nm-50μm,分辨率為1nm。薄膜測量在半導體晶片生長過程中經常被用到,因為等離子體刻蝕和淀積過程需要監控;其它應用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學膜層也需要測量膜層厚度。配套的應用軟件包括豐富的各種常用材料和膜層的n值和k值,可以實現膜層厚度的在線監測,并可以輸出到Excel文件進行過程控制。
8.寶石成分檢測
顏色是判斷鉆石成色的決定因素之一,天然鉆石和人造鉆石可以用波長范圍在400-750nm的光檢測出來。在天然Ia類鉆石的吸收譜中可以發現415nm和478nm的特征波長,而人造鉆石在該波長處則沒有吸收峰。人造鉆石中可以探測到592nm和741nm的波長。而且天然鉆石和人造鉆石的吸收峰幅值相差近10倍。當然其它寶石也可以用這種方法檢測,如紅寶石、紫翠玉、藍寶石等。寶石成分檢測的典型實驗布局如圖所示。
9.熒光測量--熒光光譜儀系統
在許多應用領域如生物學(葉綠素和類胡蘿卜素)、生物醫學(惡性病的熒光診斷)和環境應用中都需要用到熒光檢測技術。熒光檢測通常需要高靈敏度光譜儀。在大多數應用中熒光能量僅為激發光能量的3%,波長要長于激發光,而且時散射光。在熒光測量系統中,一定要避免激發光進入到光譜儀中。
10.生物醫學應用
在過去的十年中,許多用戶進行了血成分分析的非侵入式和侵入式的光譜學測量手段,測量了許多重要的醫學指標,如組織和紋理中的氧濃度、血色素、細胞色素和水濃度等。非侵入式檢測系統包括微型光纖光譜儀、鹵鎢燈和反射型光纖探頭,而侵入式檢測系統則使用了一根植入于導管中的特殊的反射型光纖探頭。
在需要連續測量氧濃度、血色素的氧化和去氧化過程的醫學應用中,該系統得到了成功的應用。
11.紫外/可見吸收光譜測量
液體的吸收率測量可以用不同的實驗布局和波長范圍來實現,如使用浸入型光纖探頭或流動樣品池進行在線吸收率測量,或使用樣品固定器進行樣品的吸收率測量。對于測量紫外/可見波長范圍的光譜儀,可以選擇波長范圍200-1100nm、分辨率1.4nm(FWHM)。此外還需要氘-鹵素燈作為光源。不同的應用可以選擇不同的光纖探頭。吸收率測量的典型實驗布局如圖所示。